Informace o projektu
Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
- Kód projektu
- GA202/01/1110
- Období řešení
- 1/2001 - 1/2003
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Vysoké učení technické v Brně
Český metrologický institut
- Odpovědná osoba RNDr. Pavel Klenovský
Cílem projektu je pro vest systematické studium optických a mechanických vlastností tenkých vrstev DLC (diamond like carbon) obsahujících příměsi křemíku (DLC:Si). V rámci tohoto studia bude použita nová optická metoda založená na kombinaci spektroskopic ké elipsometrie a spektroskopické reflektometrie, která spolu s modelem vrstev DLC:Si respektujícím poruchy těchto vrstev a spolu s novým modelem disperze optických konstant amorfních pevných látek umožní měření optických parametrů reprezentujících optic ké vlastnosti zmíněných vrstev. Pomocí standardních mikrovtiskových i moderních nanovtiskových metod budou určeny podstatné mechanické veličiny vrstev DLC:Si umožňující jednoznačně popsat mechanické vlastnosti těchto vrstev. Rozdělení vnitřních napětí uv nitř studovaných vrstev umístěných na různých podložkách bude měřeno pomocí modifikované metody holografické interferometrie. Navíc bude systematicky studován i vliv technologických podmínek přípravy DLC:Si vrstev na jejich optické a mechanické vlastnost
Publikace
Počet publikací: 20
2004
-
Atomic Force Microscopy Analysis of Statistical Roughness of GaAs Surfaces Originated by Thermal Oxidation
Microchimica Acta, rok: 2004, ročník: 147, vydání: 3
-
Influence of the atomic force microscope tip on the multifractal analysis of rough surfaces
Ultramicroscopy, rok: 2004, ročník: 102, vydání: 1
-
Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry
Thin Solid Films, rok: 2004, ročník: 455-456, vydání: 1
-
Optical properties of ZnTe films prepared by molecular beam epitaxy
Thin Solid Films, rok: 2004, ročník: 468, vydání: 1-2
2003
-
Aplikace mikroskopie atomové síly při analýze tenkých vrstev ZnSe a ZnTe
Československý časopis pro fyziku, rok: 2003, ročník: 53, vydání: 2
-
Atomic force microscopy characterization of ZnTe epitaxial thin films
Japanese Journal of Applied Physics, rok: 2003, ročník: 42, vydání: 7B
-
Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films
Proceedings of SAPP XIV, rok: 2003
-
Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry
Proceedings of SPIE, rok: 2003, ročník: 5182, vydání: 2
-
New Dispersion Model of the Optical Constants of the DLC Films
Acta Physica Slovaca, rok: 2003, ročník: 53, vydání: 5
-
New Method for the Complete Optical Analysis of Thin Films Nonuniform in Optical Parameters
Japanese Journal of Applied Physics, rok: 2003, ročník: 42, vydání: 7B