
Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2002 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Czech. J. Phys. |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | RF discharge; mode transition; sheath |
Přiložené soubory | |
Popis | We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen |
Související projekty: |