Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

• Autoři: ZAJÍČKOVÁ Lenka; DVOŘÁK Pavel; KUDRLE Vít; ŠMÍD Radek
• Rok publikování: 2002
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Czech. J. Phys.
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: RF discharge; mode transition; sheath

Přiložené soubory

• 124_1.pdf

• Popis: We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek