Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films

• Autoři: KLAPETEK Petr; OHLÍDAL Ivan
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Ultramicroscopy
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: columnar films; atomic force microscopy
• Popis: In this paper a theoretical analysis of atomic force microscopy measurements of columnar thin films is presented. Errors originating from tip convoution effects are evaluated.

Související projekty

• Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie
• Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou