![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Diamond Growth on silicon and WC-Co by microwave plasma chemical vapor deposition
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2003 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of contributed papers WDS'03 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | PECVD; diamond; WC; raman spectra; SEM |
Popis | Diamond Growth on silicon and WC=Co by microwave plasma chemical vapor deposition |
Související projekty: |