Informace o projektu
Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
- Kód projektu
- GP202/01/P106
- Období řešení
- 1/2001 - 1/2003
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Postdoktorské projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Vybrané plazmochemické reakce budou studovány v různých typech výbojů (nízkotlaký vysokofrekvenční výboj, nízkotlaký stejnosměrný výboj, nízkotlaký mikrovlnný výboj, vysokotlaký mikrovlnný hořák, doutnavý výboj za atmosférického tlaku, atd.) za pomocí el ektronové paramagnetické rezonance (EPR) a optické emisní spektroskopie (OES). Projekt se soustředí hlavně na následující oblasti: (i) Vliv příměsí na heterogenní (povrchové) reakce, zejména na povrchovou rekombinaci atomů. Koncentrace daných atomů v doh asínání bude určena v závislosti na množství příměsi, pozici v dohasínání, teplotě stěn, atd. Cílem je porozumět lépe tomuto procesu, popsat ho jak experimentálně tak teoreticky a na závěr navrhnout možné aplikace, např. zvýšení rychlosti nitridace. (ii) Určení rychlostních konstant hlavních reakcí mezi organosilikonovými sloučeninami (TEOS, HMDSO, HMDSZ, OMTS) a atomárním kyslíkem či dusíkem metodou EPR. Tyto konstanty pak umožní optimalizovat současné depoziční techniky, např. výběrem nejvhodnějšího
Publikace
Počet publikací: 35
2001
-
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
-
Practical exercises in applied plasma chemistry
15th ISPC symposium proceedings, rok: 2001
-
Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD
Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001
-
Spectroscopic Investigation of Electron and Neutral Gas Temperatures in Microwave Torch Plasmas at Atmospheric Pressure
Proceedings of XXV ICPIG, rok: 2001
-
Study of hydrocarbons decomposition in microwave discharge and mass spectrometry of radiofrequency discharges in liquids
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001