Informace o projektu
Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
- Kód projektu
- GA202/01/1110
- Období řešení
- 1/2001 - 1/2003
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Vysoké učení technické v Brně
Český metrologický institut
- Odpovědná osoba RNDr. Pavel Klenovský
Cílem projektu je pro vest systematické studium optických a mechanických vlastností tenkých vrstev DLC (diamond like carbon) obsahujících příměsi křemíku (DLC:Si). V rámci tohoto studia bude použita nová optická metoda založená na kombinaci spektroskopic ké elipsometrie a spektroskopické reflektometrie, která spolu s modelem vrstev DLC:Si respektujícím poruchy těchto vrstev a spolu s novým modelem disperze optických konstant amorfních pevných látek umožní měření optických parametrů reprezentujících optic ké vlastnosti zmíněných vrstev. Pomocí standardních mikrovtiskových i moderních nanovtiskových metod budou určeny podstatné mechanické veličiny vrstev DLC:Si umožňující jednoznačně popsat mechanické vlastnosti těchto vrstev. Rozdělení vnitřních napětí uv nitř studovaných vrstev umístěných na různých podložkách bude měřeno pomocí modifikované metody holografické interferometrie. Navíc bude systematicky studován i vliv technologických podmínek přípravy DLC:Si vrstev na jejich optické a mechanické vlastnost
Publikace
Počet publikací: 20
2003
-
Optical constants of ZnTe and ZnSe epitaxial thin films
Acta Physica Slovaca, rok: 2003, ročník: 53, vydání: 2
-
Optical properties of diamond-like carbon films containing SiOx
Diamond and Related Materials, rok: 2003, ročník: 12, vydání: 9
-
Srovnání snímků NSOM a AFM při studiu vybraných objektů
Československý časopis pro fyziku, rok: 2003, ročník: 47, vydání: 6-7s
-
Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films
Ultramicroscopy, rok: 2003, ročník: 94, vydání: 1
2002
-
Analysis of the boundaries of ZrO2 and HfO2 thin films by atomic force microscopy and the combined optical method
Surface and Interface Analysis, rok: 2002, ročník: 34, vydání: 1
-
Applications of atomic force microscopy for thin film boundary measurements
Jemná mechanika a optika, rok: 2002, ročník: 47, vydání: 6-7
-
Estimation of the Surface Free Energy of Diamond-like Carbon Films
Chemicke listy, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 96(S)
-
Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings
Journal of Non-Crystalline Solids, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 299-302
-
Optical characterization of diamond like carbon films using multi-sample modification of variable angle spectroscopic ellipsometry
Diamond and Related Materials, rok: 2002, ročník: 11, vydání: 1
-
Optical characterization of thin films non-uniform in thickness by a multiple-wavelength reflectance method
Surface and Interface Analysis, rok: 2002, ročník: 34, vydání: 1